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特气柜主要用要供应特种气体，如易燃，易爆，剧毒等，主要用于半导体和LED的新兴行业。根据生产的需要，有普通的Gas cabinet和BSGS等大流量的气体供应气柜。
按瓶数分类：单瓶柜(架)/二瓶柜(架)/三瓶柜(架)
按操作方式分类：手动、半自动。
气路配件，接头、阀门等全部是进口电子级材料，管道为316L，自动轨道焊接。
气路设计合理完善，工作管路具备抽空、回充、压力指示等功能，气瓶柜留有排气口，并具有负压检测 。
气瓶柜箱体采用安全设计，所选用的材料适用于各种不同性质的气体，美观，紧凑，安全，质优价廉，可按照客户要求定制。
完善的安全报警装置，具有气体泄漏检测报警(如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警)报警信号被触发时，自动切断。
特气柜主要应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，应用于半导体、太阳能电池、生物工程、微电子等行业。
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